kontaktløs wafergriper

...Med LeviWafer-grippertransportssystemet er det mulig å løfte og transportere sensitive wafere berøringsfritt. I kombinasjon med transport er det også mulig å laste og losse kassetter eller stabler. Gripperen holder waferen på avstand ved hjelp av ultralydlagerteknologi, noe som muliggjør kontaktløs transport. I tillegg til mikro-riper og -sprekker unngås forurensninger fra partikler, da det ikke...