SIGA GMBH

SIGA utvikler og bygger kundespesifikke systemer for måling, regulering og styring av gassstrømmer, samt for fordamping og dosering av flytende Precursor, supplert med Precursor forsyningssystemer. Med våre gassystemer kan du dosere en gass eller mange gasser eller Precursor og levere disse til en eller flere brukssteder. Systemene suppleres med en datastyrt kontroll med hard- og programvare. Utformingen skjer etter dine ønsker basert på vår erfaring. Vi tilbyr bl.a. Precursor fordampersystemer & forsyningssystemer, brennersystemer, aktivkullfilter-konditioneringssystemer. I bruk er masseflowregulatorer MFCs, ventiler, filtre, trykksensorer, temperatursensorer, osv. Anwendungsgebiet er overalt der gasser brukes i produksjonsprosesser, f.eks. for avsetning av tynne lag CVD. Sertifikat DIN EN ISO 9001 Systemer fra SIGA •Precursor fordampere ◦Fordamper for en Precursor ◦Fordamper for 2 eller flere Precursor ◦Væskedosering med etterfølgende fordamping •Precursor forsyningssystemer •Gassblandingssystemer •Rein gassystemer •AKF-laste-stasjoner •Brennere systemer