Tilpasset Entegries PAK wafer rengjøringskassett FLOUROWARE

Waferbærere brukes til å lagre, overføre, transportere og beskytte wafere - Det finnes mange typer waferbærere, og hver har sin egen anvendelse. For eksempel kan frontåpnings waferoverføringsboks FOUP brukes i halvlederprosessen i produksjonsanlegget, frontåpnings wafertransportboks FOSB kan brukes til transport mellom produksjonsanlegg, og waferblomsterkurven kan brukes til waferrensing, osv. Fluororesin har en ekstremt stabil molekylstruktur, så den påvirkes knapt av lys, temperatur og kjemikalier, og er "harry av harpiks" som undergraver det iboende konseptet. I prosessen med å rense brikker kreves høypuritet kjemikalier, og fluoropolymerer er de eneste materialene som kan inneholde og transportere de høypuritet kjemikaliene som brukes i produksjonsprosessen, og oppnå den ekstremt høye stabiliteten og renheten som kreves for halvlederproduksjon.