Restgassanalysatorer (RGA) og Massespektrometre - 100 AMU CPM
Restgassanalysatorer (RGA) og Massespektrometre - 100 AMU CPM

Restgassanalysatorer (RGA) og Massespektrometre - 100 AMU CPM

RASK, FELT-KLAR PROSESSOVERVÅKNINGSSYSTEM Ytelse, Pålitelighet og Allsidighet INFICON Transpector CPM har vært det markedsledende Residual Gas Analyzer (RGA) prosessovervåkingssystemet i halvlederindustrien i over et tiår. Nå gir Transpector CPM 3 bransjens ledende målehastighet og følsomhet gjennom et feltprøvd pumpesystem og inntakssystem integrert med en ny sensor og elektronikk. Transpector CPM 3 er den ideelle RGA prosessmonitoren for nye og etablerte halvlederprosesser som ALD, CVD, PVD og Etching. Transpector CPM 3 gir bevist avkastning på investering til våre partnere gjennom: 1 Ion kilde trykkavlesning @ lav emisjon ved bruk av totaltrykklinse 2 Totaltrykk nøyaktighet @ lav emisjon 3 Maksimalt ion kilde driftstrykk @ lav emisjon 4 2x10 -4 Torr i ionkilden vil produsere omtrent 1x10 -5 Torr i kvadrupolregionen 5 MDPP ved ionkilden med EM på og 1s oppholdstid 6 Masse 40 bidrag til 41 AMU 7 Null blast... Oppløsning: 1 amu bred @ 10% topphøyde Totaltrykkområde¹: 5E-7 - 1E-3 Torr Totaltrykk nøyaktighet²: +/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr Maksimalt ion kilde driftstrykk³: 1E-3 Torr Nominelt driftstrykk⁴: 2E-4 Torr System driftstrykk: 1E-8 Torr - 1.2 atm Følsomhet (Lav Emisjon): > 4E-6 Amps/Torr Følsomhet (Høy Emisjon): > 2E-5 Amps/Torr Minimum Detekterbar Deltrykk⁵: 1E-13 Torr Maksimal Datahastighet: 1.8 ms/poeng (555 poeng/sek) Overflod Følsomhet⁶: < 5 ppm Null Blast⁷: < 2 ppm Deteksjonsgrense⁸: < 1 ppm Lineæritet⁹: +/- 20% Minimum Bakgrunnstrykk: 1E-8 Torr Maksimal Sensor- og Inntakstemperatur: 150
Lignende produkter
1/15
Kjemisk Deteksjon og Overvåking (GCMS/GC/IR) - CMS5000
Kjemisk Deteksjon og Overvåking (GCMS/GC/IR) - CMS5000
Rent vann er essensielt for liv. Etter hvert som flere kjemikalier introduseres i miljøet, vil negative konsekvenser for vannkvaliteten og tilhørende ...
DE-50968 Köln
Høy presisjon vakuummålere - 1000 ... 500 Torr / mbar
Høy presisjon vakuummålere - 1000 ... 500 Torr / mbar
INFICON SKY CDG100D manometre er ditt beste valg for nøyaktig måling og kontroll av totalt trykk. CDG100D målere er temperaturkontrollerte ved 100 °C ...
DE-50968 Köln
Høy presisjon vakuummålere - 1000 Torr / 1100 mbar
Høy presisjon vakuummålere - 1000 Torr / 1100 mbar
INFICON SKY CDG025D kapasitans membranmålerlinje av høy presisjon med temperaturkompensasjon er designet for stabil ytelse i tøffe produksjonsverktøyo...
DE-50968 Köln
Vakuumgjennomføringer - DN 40 CF-F - 1 gjennomføring
Vakuumgjennomføringer - DN 40 CF-F - 1 gjennomføring
INFICON tilbyr økonomisk prisede ISO-KF flensgjennomføringer som har vært brukt i alle standard vakuumapplikasjoner over hele verden i mange år. I til...
DE-50968 Köln
Kjemisk Deteksjon og Overvåking (GCMS/GC/IR) - HAPSITE ER
Kjemisk Deteksjon og Overvåking (GCMS/GC/IR) - HAPSITE ER
Den eneste personbærbare GC/MS som identifiserer VOC-er og SVOC-er Rask, enkel, nøyaktig ytelse på stedet HAPSITE ER er den eneste personbærbare gass...
DE-50968 Köln
Kompatible vakuummålere og -kontrollere - PCG550 Wolfram
Kompatible vakuummålere og -kontrollere - PCG550 Wolfram
INFICON Pirani Kapasitans Membranmåler (PCG55x) kombinerer INFICON Pirani-teknologi med fordelene ved en keramisk kapasitans membransensor i ett enkel...
DE-50968 Köln
Kompatible vakuummålere og -kontrollere - PSG550 Wolfram
Kompatible vakuummålere og -kontrollere - PSG550 Wolfram
INFICON Pirani Standard Gauge (PSG55x) benytter, som sine brødre PCG55x og PSG50x, den mest avanserte digitale Pirani-teknologien som er tilgjengelig.
DE-50968 Köln
RF Sensor Teknologi
RF Sensor Teknologi
ADC100-systemet kobles til en likestrømsgenerator for å oppdage plasma-lysbuer i sanntid. Dette gir muligheten til å avbryte en wafer-prosess og varsl...
DE-50968 Köln
Vakuumgjennomføringer - DN 16 CF-F
Vakuumgjennomføringer - DN 16 CF-F
INFICON tilbyr økonomisk prisede ISO-KF flensgjennomføringer som har vært brukt i alle standard vakuumapplikasjoner over hele verden i mange år. I til...
DE-50968 Köln
Høy presisjon vakuummålere - 1000 Torr / 1100 mbar
Høy presisjon vakuummålere - 1000 Torr / 1100 mbar
INFICON SKY CDG025D kapasitans membranmålerlinje med høy nøyaktighet og temperaturkompensasjon er designet for stabil ytelse i tøffe produksjonsverktø...
DE-50968 Köln
Bredt utvalg vakuummålere - PGE500
Bredt utvalg vakuummålere - PGE500
INFICON Pirani Gauge Enhanced 500 (PGE500) er utstyrt med den nyeste digitale konveksjonsforsterkede Pirani-teknologien som er tilgjengelig på markede...
DE-50968 Köln
Restgasanalyzatorer (RGA) og Massespektrometre - FabGuard Explorer
Restgasanalyzatorer (RGA) og Massespektrometre - FabGuard Explorer
Prosesskarakteriseringsprogramvare for Transpector gassanalysesystem Med ett-klikk tilgang til de to mest populære RGA-funksjonene: overvåking og lek...
DE-50968 Köln
Tynnfilmavsetning - SQM-160 Standardoppløsning
Tynnfilmavsetning - SQM-160 Standardoppløsning
SQM-160 bruker bevist INFICON kvarts krystall sensor teknologi for å måle hastighet og tykkelse i tynnfilmdeponeringsprosesser. To sensorinnganger er ...
DE-50968 Köln
Høy presisjon vakuummålere - 10 ... 1000 Torr / mbar
Høy presisjon vakuummålere - 10 ... 1000 Torr / mbar
INFICON Porter™ CDG020D Kapasitans Membranmåler er en høykvalitets, kostnadseffektiv, gass uavhengig absolutt trykksensor. Porter er designet for stab...
DE-50968 Köln
Vakuummålerkontrollere og Tilbehør - VGC501
Vakuummålerkontrollere og Tilbehør - VGC501
Bærekraftig løsning for prosessmåling, kontroll og datalogging Kompatibel med det brede utvalget av INFICON aktive målere, er den nye VGC50x-serien av...
DE-50968 Köln

europages-appen er her!

Bruk vårt forbedrede leverandørsøk eller opprett henvendelser mens du er på farten med den nye europages-appen

Last ned i App Store

App StoreGoogle Play