RIE-PRINSIPP: CYLOS 160/RIE
RIE-PRINSIPP: CYLOS 160/RIERIE-PRINSIPP: CYLOS 160/RIE

RIE-PRINSIPP: CYLOS 160/RIE

Vakuumbeholdere i aluminium eller rustfritt stål, vakuumpumper i korrosjons- og gassbestandig utførelse inkludert oljedampseparator med olje-retur, opptil 4 massegjennomstrømningsregulatorer for gassforsyning Tilpasset gassinntak for optimal fordeling Trykkmåling avhengig av krav med kapasitiv målerør eller motstandsmåler (Pirani) Kopling av HF-effekt ved hjelp av AURIONs egenutviklede og bygde impedansjusteringsnettverk med automatisk tuning Effektdeling (ved flere katoder) DC-bias-regulering for lik bias-potensial på flere katoder Valgfritt halvautomatisk eller PC-styring inkludert oppskriftsadministrasjon og datalogging
Lignende produkter
1/8
HF-systemer for partikkelakseleratorer (ACCELOS-SERIE)
HF-systemer for partikkelakseleratorer (ACCELOS-SERIE)
Strålemanipulering i partikkelakseleratorer (f.eks. buntkomprimering), fullt integrerte systemer bestående av hulrom med, strålerør og HF-forsterker.
DE-63500 Seligenstadt
PIKNOS 30 MW
PIKNOS 30 MW
Max. 4 gassstrømkontrollere med en strømningshastighet på opptil 500 sccm per kontroller, strømtilkobling: 3/N/PE AC 400/230V, kammervolum: 30 l, dime...
DE-63500 Seligenstadt
KIVOS-konseptet: Plasmasoner
KIVOS-konseptet: Plasmasoner
KIVOS er et svært fleksibelt, modulært konsept for plasmasystemer. Disse systemene kan brukes i en rekke forskjellige anvendelsesområder, som for eks...
DE-63500 Seligenstadt
Inline-systemer
Inline-systemer
AURION tilbyr spesialtilpassede flerkammeranlegg med substrattransport under vakuum, skreddersydd for dine behov. De tilgjengelige konfigurasjonene i...
DE-63500 Seligenstadt
Plasmaanlegg
Plasmaanlegg
Komplette systemer for behandling og belegg av overflater ved hjelp av plasmaprosesser Aktivering, rengjøring og etsing med atmosfærisk trykkplasma, ...
DE-63500 Seligenstadt
Sputtersystemer (Sputtering)
Sputtersystemer (Sputtering)
DE-63500 Seligenstadt
COMPACT-MW
COMPACT-MW
Kompakte systemer, minimal fotavtrykk - Høye plasmadensiteter for korte prosess tider - Optimal homogenitet gjennom plasma-array med 2-dimensjonalt ga...
DE-63500 Seligenstadt
Klyngesystemer
Klyngesystemer
AURION tilbyr fler-kammer systemer skreddersydd til dine krav med substrathåndtering under vakuum. De tilgjengelige konfigurasjonene inkluderer låsek...
DE-63500 Seligenstadt

europages-appen er her!

Bruk vårt forbedrede leverandørsøk eller opprett henvendelser mens du er på farten med den nye europages-appen

Last ned i App Store

App StoreGoogle Play