konfokal mikroskop

...Tilpasset konfokal mikroskop for waferinspeksjon...

...0,25 cm-1 for Echelle-gitter, 0,9 cm-1 for 1800 I/mm gitter (bølgelengde 500 nm) Konfokal pinhole: Bredde 0 - 1,5 mm, trinnstørrelse 0,5 μm Bølgelengde nøyaktighet med CCD-kamera: 0,005 nm (1800 I/mm gitter) Skannemetode: Galvano-skannere av XY speil Skanningshastighet: 3 sek (1001 x 1001 piksler, min. trinn 20 nm) Skanningsområde: 150 μm x 150 μm (ved bruk av 100x objektivlinse) CCD-kameratype...