Reservedeler for ionimplantasjon - Reservedeler for ionimplantasjon laget av grafitt, wolfram, molybden og legeringer
Reservedeler inkluderer for eksempel kammer, filamenter, lysbueåpninger, holdere og mange andre deler. Reservedelene er laget av grafitt, molybden, wolfram og legeringer. De er ekstremt holdbare og langvarige, og sparer derfor penger og vedlikeholdstid.
100 eller flere Plansee-komponenter er i bruk i hver strålebane. De sikrer at ionene genereres effektivt og ledes presist og fritt for urenheter langs strålebanen til waferen. For kunder i halvlederindustrien blir Plansee reservedeler i økende grad mer enn bare reservedeler. Ved å ta utgangspunkt i utstyrsprodusentens originale reservedeler, optimaliserer Plansee geometriene og materialkomposisjonene. Fordelene for deg:
— Forenklet installasjon og fjerning av komponenter
— Lengre levetid
— Lavere rengjøringskostnader
— Redusert vedlikeholdsarbeid
— Redusert nedetid