LeviWafer-Gripper

Med LeviWafer-Gripper transportsystemet er det mulig å løfte og transportere sensitive wafere kontaktløst. I kombinasjon med transport er (av)lasting av stabler og kassetter også mulig. Griperen bruker ultralyds bæringsteknologi for å holde waferen på avstand, noe som muliggjør kontaktløs transport. I tillegg til mikkriper og -sprekker unngås forurensning fra partikler, siden det ikke skapes luftturbelens uten trykkluft. Derfor er griperen også svært egnet for rene rom. LeviWafer-Gripper kan designes med en enkelt eller dobbel paddle. Funksjoner ved LeviWafer-Gripper: - Kontaktløs opptak - Ingen mikkriper, miksprekker eller partikler - Egnet for standard kassetter - Lavt energiforbruk - Tilpassbar i henhold til kundens spesifikasjoner