Termisk Massestrømmåling og -kontroll fra Teledyne Hastings Instruments

Termisk masseflowmåling og -regulering Vesentlige egenskaper*: Mål- og reguleringsområder: + Flowmåler: 0 – 5 sccm til 0 – 15,000 slm (N2 ekvivalent) + Flowregulator: 0 – 5 sccm til 0 – 10,000 slm (N2 ekvivalent) + Høy målenøyaktighet: fra ±(0.2% av sluttverdi + 0.5% av måleverdi) + Høy reproducerbarhet: fra ±0.05% av sluttverdi + Korte responstider + Lavt trykkfall + Metall- eller elastomer-tettet + Høy trykkfasthet: opptil 34 bar eller høyere (68 bar valgfritt) + Strømforsyning: 11-36 VDC unipolar eller bipolar (f.eks. +24 VDC, ±15 VDC) + Analoge utganger: 0-5V, 0-10V, 0-20 mA, 4-20 mA + Settpunktinnstilling: 0-5V, 0-10V, 0-20 mA, 4-20 mA + Digitale grensesnitt: RS232, RS485, USB + Mekaniske tilkoblinger: Swagelok, VCR, VCO, eller flens + NIST-sporbar kalibrering *avhengig av serien